Программа моделирования процесса экспонирования резиста в электронно-лучевой литографии
Петренко А.И., Малявко А.С
Описана программа, позволяющая моделировать процесс экспонирования резиста в электронно-лучевой литографии и использующая в качестве входных данных геометрическое описание маски и параметры электронно-лучевой системы. Приведен пример результатов моделирования и описаны возможности программы.